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Chroma 7201光伏硅片外觀暨表面臟污檢測機

主要特色：

• 可整合到任何硅片分選機上
• 可調(diào)整式的演算法可供檢測5"、6"以及單晶、多晶、準單晶等各種硅片
• 多樣化介面選擇可與不同設(shè)備或者MES系統(tǒng)連線
• 可進行金剛線切割硅片的檢測
• 自我監(jiān)測以及校正系統(tǒng)

Chroma 7201可用來檢測硅片長度、寬度、對角線、邊緣 夾角、導角尺寸以及導角角度等，同時也可以檢測表面瑕 疵。設(shè)計完善的軟體以及操作介面可供使用者設(shè)定不同的 檢測參數(shù)來達到檢測結(jié)果，同時也提供瑕疵顯示以及儲存 功能來留待日后進行MES/CIM的分析以及整合。

• 可整合到任何硅片分選機上
• 可調(diào)整式的演算法可供檢測5"、6"以及單晶、多晶、準單晶等各種硅片
• 多樣化介面選擇可與不同設(shè)備或者MES系統(tǒng)連線
• 可進行金剛線切割硅片的檢測
• 自我監(jiān)測以及校正系統(tǒng)

A: 邊長
B: 導角長度
C: 對角線
D: 邊緣導角
E: 缺角
F: 臟污

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Chroma 7201光伏硅片外觀暨表面臟污檢測機